Aurion Anlagentechnik GmbH
- Výrobca
- Nemecko
- Website
- Dotaz pre poskytovateľa
- Telefón
Aurion Anlagentechnik GmbH
- Výrobca
- Nemecko
- Website
- Dotaz pre poskytovateľa
- Telefón
- DIN EN ISO 9001:2015
Aurion Anlagentechnik GmbH
- Výrobca
- Nemecko
- Website
- Dotaz pre poskytovateľa
- Telefón
- DIN EN ISO 9001:2015
01.10.2025 10:40
Clusterové a radové systémy
Klastrové systémy
AURION ponúka viackomorové systémy s manipuláciou so substrátom vo vákuu prispôsobené vašim potrebám. Dostupné konfigurácie zahŕňajú komory s uzáverom záťaže, prenosové komory a procesné moduly pre procesy naprašovania a RIE.
Inline systémy
Spoločnosť AURION ponúka inline (priechodné) systémy s prepravou substrátu vo vákuu prispôsobené vašim potrebám. Dostupné konfigurácie zahŕňajú komory s uzáverom zaťaženia, komory na predúpravu a komory na rozprašovanie. K dispozícii sú vertikálne a horizontálne usporiadania.
Kategórie
Ponuky
Štát
Nemecko