Rýchlosť, rozlíšenie, 2D alebo 3D - v závislosti od aplikácie majú výrobcovia pri kontrole polovodičových výrobkov rôzne priority. Spoločnosť Comet Yxlon ponúka rôzne röntgenové a CT kontrolné systémy prispôsobené konkrétnym kontrolným úlohám.
2D rádioskopia
- Rýchle generovanie snímok, ideálne na kontrolu počas procesu
- Hlavné použitie: tradičné balenie
- Kontrola jednoduchých drôtených spojov, priechodiek a spájkovacích hrbolčekov
- K dispozícii s technológiami Cheetah a Cougar - najlepší obraz v najkratšom čase so submikrometrovým rozlíšením
Počítačová laminografia (CL)
- Určenie priestorových vlastností komponentov, ako aj polohy a veľkosti defektov
- Hlavné použitie: Pokročilé balenie
- Kontrola vzoriek viacvrstvových obalov a integrovaných zariadení
- K dispozícii pre systémy Cheetah a Cougar s vertikálnou dráhou lúča a najvyšším rozlíšením, ako aj pre systémy FF20 CT a FF35 CT s horizontálnou dráhou lúča
3D počítačová tomografia (CT)
- 3D merania na určenie priestorových vlastností, polohy a rozmerov defektu
- Hlavné použitie: podrobná analýza defektov
- K dispozícii so systémami FF20 CT a FF35 CT s intuitívnym ovládaním vďaka používateľskému rozhraniu Geminy a ako doplnok so systémami Cheetah a Cougar
- CT metrológia