Stäubli Electrical Connectors AG
Stäubli Electrical Connectors AG
Roboty pre čisté priestory pre polovodičovú technológiu od Stäubli Electrical Connectors AG
Naše robotické riešenia pre čisté priestory spájajú presnosť, rýchlosť a čistotu
Z hľadiska presnosti a rýchlosti vkombinácii so zníženou kontamináciou časticami kladie výroba elektroniky a polovodičov vysoké nároky na automatizáciu. Roboty Stäubli pre čisté priestory umožňujú realizovať vysoko efektívne riešenia. Naše roboty dokážu manipulovať s kremíkovými plátkami, FOUP/kazetami, ako aj fotomaskami a panelmi s mimoriadne vysokou presnosťou a rýchlosťou a s pohybmi s nízkymi vibráciami v celom hodnotovom reťazci výroby polovodičov.
Špeciálne vyvinuté pre polovodičový priemysel
Špeciálne vyvinuté šesťosové roboty Supercleanroom (SCR) sú určené pre prísne požiadavky v prostredí čistých priestorov. Spĺňajú normy ISO 14644-1 triedy 2/3 alebo FED209E podtriedy 1. Stroje majú kompletne zapuzdrené rameno z polyuretánu so špeciálnou povrchovou úpravou a vyznačujú sa pôsobivou manévrovateľnosťou v stiesnených priestoroch. Roboty SCR od spoločnosti Stäubli ponúkajú v porovnaní s inými robotmi na výrobu waferov väčšiu flexibilitu, vyššiu nosnosť a dlhší dosah. Spĺňajú tak všetky požiadavky na manipuláciu s doštičkami, fotomaskami a kazetami. Vďaka malým rozmerom robotov možno ušetriť cenný inštalačný priestor v špeciálnych strojoch.